
| Paglalagay ng Rehas | 20um |
| ||||||||||||||||||||||||||||||||
| Pagpapalawak ng Init | 10.6 x 10 -6 | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Resolusyon | 0.5-1-5μm | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Pag-uulit | ±1 na pagtaas | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Pinakamataas na Bilis m/min | 60(5μm); 20 (1μm) | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Uri ng output | TTL / EIA422A | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Pinakamataas na Pagbilis | 20m/S² | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Proteksyon | IP54 | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Suplay ng kuryente | Pinakamataas na 60mA | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Pag-aalis ng yugto | 90±5°elektrikal | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Temperatura ng pagpapatakbo | 0°-- 50° | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Temperatura ng imbakan | -20°-- 80° | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Halumigmig | 100% hindi pinaikli |