Grating Pitch | 20um |
| ||||||||||||||||||||||||||||||||
Thermal Expansion | 10.6 x 10 -6 | |||||||||||||||||||||||||||||||||
Resolusyon | 0.5-1-5μm | |||||||||||||||||||||||||||||||||
Pag-uulit | ±1 pagtaas | |||||||||||||||||||||||||||||||||
Max na Bilis m/min | 60(5μm);20 (1μm) | |||||||||||||||||||||||||||||||||
Uri ng output | TTL / EIA422A | |||||||||||||||||||||||||||||||||
Max.Acceleration | 20m/S² | |||||||||||||||||||||||||||||||||
Proteksyon | IP54 | |||||||||||||||||||||||||||||||||
Power supply | 60mA Max | |||||||||||||||||||||||||||||||||
Phase displacement | 90±5°electrikal | |||||||||||||||||||||||||||||||||
Temperatura ng pagpapatakbo | 0°-- 50° | |||||||||||||||||||||||||||||||||
Temperatura ng imbakan | -20°-- 80° | |||||||||||||||||||||||||||||||||
Halumigmig | 100% hindi condensed |